Tata cara sholat tahajud tidak jauh berbeda dengan sholat sunah lainnya. Sholat tahajud sendiri merupakan sholat sunah yang dilakukan setelah seseorang tidur meskipun hanya sebentar. Tidur ini merupakan syarat utama untuk melaksanakan sholat tahajud.
Jika dilakukan tanpa tidur terlebih dahulu maka itu bukan sholat tahajud, melainkan sholat sholat sunah lain seperti witir maupun istikharah. Sedangkan untuk jumlah rakaatnya sendiri, sholat tahajud paling sedikit dilakukan 2 rakaat dan sebanyak banyaknya alias tidak dibatasi. Sholat tahajud secara umum waktu pelaksanaannya dapat dibagi menjadi tiga
1. Mulai dari setelah sholat isya hingga pukul 22.00 (sepertiga malam pertama). 2. Mulai dari pukul 22.00 hingga 01.00 (sepertiga malam kedua). 3. Kira kira satu jam sebelum memasuki waktu subuh (sepertiga malam ketiga).
Ushalli Sunnatat Tahajjudi Rak'ataini Lillaahi Ta'alaa. Allahu Akbar. Artinya : Aku niat shalat sunat tahajjud dua raka'at karena Allah ta'ala. Allahu Akbar. 1. Niat sholat
2. Takbiratul ihram, diikuti dengan doa iftitah 3. Membaca surat Al Fatihah 4. Membaca surat dari Alquran.
5. Ruku’ dengan tuma’ninah 6. I’tidal dengan tuma’ninah 7. Sujud dengan tuma’ninah
8. Duduk di antara dua sujud dengan tuma’ninah 9. Sujud kedua dengan tuma’ninah 10. Berdiri lagi untuk menunaikan rakaat kedua
11. Membaca surat Al Fatihah 12. Membaca surat dari Alquran. 13. Ruku’ dengan tuma’ninah
14. I’tidal dengan tuma’ninah 15. Sujud dengan tuma’ninah 16. Duduk di antara dua sujud dengan tuma’ninah
17. Sujud kedua dengan tuma’ninah 18. Tahiyat akhir dengan tuma’ninah 19. Salam
20. Doa yang dianjutkan yaitu : Artinya : "Ya Allah Tuhan kami, berilah kami kebaikan di dunia dan kebaikan di akhirat dan hindarkanlah kami dari siksaan api neraka".
Atau doa lain hadis Bukhari bahwa Rasulullah membaca doa: " ."
Artinya: Ya Allah, Tuhan kami, segala puji bagi Mu, Engkau penegak langit, bumi, dan makhluk di dalamnya. Segala puji bagi Mu, Engkau penguasa langit, bumi, dan makhluk di dalamnya. Segala puji bagi Mu, Engkau cahaya langit, bumi, dan makhluk di dalamnya. Segala puji bagi Mu, Engkau Maha Benar. Janji Mu benar. Pertemuan dengan Mu kelak itu benar. Firman Mu benar adanya. Surga itu nyata. Neraka pun demikian. Para nabi itu benar. Demikian pula Nabi Muhammad SAW itu benar. Hari Kiamat itu benar." Ya Tuhanku, hanya kepada Mu aku berserah. Hanya kepada Mu juga aku beriman. Kepada Mu aku pasrah. Hanya kepada Mu aku kembali. Karena Mu aku rela bertikai. Hanya pada Mu dasar putusanku. Karenanya ampuni dosaku yang telah lalu dan yang terkemudian, dosa yang kusembunyikan dan yang kunyatakan, dan dosa lain yang lebih Kau ketahui ketimbang aku. Engkau Yang Maha Terdahulu dan Engkau Yang Maha Terkemudian. Tiada Tuhan selain Engkau. Tiada daya upaya dan kekuatan selain pertolongan Allah.”